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晶圓等離子清洗機(等離子灰化/去光刻膠/聚合物剝離/預處理/介電質刻蝕/晶圓凸點/有機污染去除/晶圓減薄)收藏產品 進入展商展臺

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大族激光科技產業(yè)集團股份有限公司
HAN’S LASER TECHNOLOGY INDUSTRY GROUP CO., LTD.

作為世界的激光加工設備生產廠商,公司已成為深圳市高新技術企業(yè),深圳市重點軟件企業(yè),廣東省裝備制造業(yè)重點企業(yè),創(chuàng)新型試點企業(yè),國家科技成果推廣示范基地重點推廣示范企業(yè),國家規(guī)劃布局內重點軟件企業(yè),主要科研項目被認定為火炬計劃項目。

大族激光是世界主要的激光加工設備生產廠商之一,2012年公司銷售收入超過43億元人民幣,位居世界激光企業(yè)前三位,國內激光設備占有率*位。目前公司是國家重點高新技術企業(yè)、創(chuàng)新型試點企業(yè)、國家科技成果推廣示范基地-重點推廣示范企業(yè)、國家規(guī)劃布局內重點軟件企業(yè)、廣東省裝備制造業(yè)重點企業(yè)、廣東省產品企業(yè)、深圳自主創(chuàng)新企業(yè),主要科研項目被認定為火炬計劃項目。

大族激光為國內外客戶提供一整套激光加工解決方案及相關配套設施,主要產品包括:激光打標機系列、激光焊接機系列、激光切割機系列、高功率激光切割及焊接設備、激光演示系列、PCB鉆孔機系列、直線電機、LED設備等多個系列二百余種工業(yè)激光設備及其配套產品。公司產品涉及電子電路、集成電路、儀器儀表、計算機制造、手機通訊、汽車配件、精密器械、建筑建材、服裝服飾、城市燈光、金銀首飾、工藝禮品等多種行業(yè)。

大族激光研發(fā)實力雄厚,上千人的研發(fā)團隊,擁有國內外280多項;計算機軟件著作權106項,多項核心技術處于先進水平,是世界上僅有的幾家擁有"紫外激光"的公司之一。公司與多所著名大學等建立了戰(zhàn)略合作關系,聯(lián)合成立了相關實驗室及人才培養(yǎng)基地等項目。目前擁有20多萬平米現(xiàn)代化生產廠房,員工總數(shù)超過7千人,配備德國、日本先進加工機床設備,公司生產依據(jù)ISO9001質量控制體系和ISO14001環(huán)境管理體系,對產品在其來料、加工過程、整機、出貨各個環(huán)節(jié)嚴格把關,確保出貨產品的性能和質量,多個產品系列已獲得歐盟CE認證。

大族激光在國內擁有行業(yè)內Z為完善的銷售及售后服務網(wǎng)點,覆蓋全國范圍,海外擁有數(shù)十家分支機構及代理,并成立了專門的行業(yè)服務部門,為不同行業(yè)的客戶提供激光加工工藝分析和*的激光應用解決方案,使激光技術與各行業(yè)的制造工藝實現(xiàn)無縫對接。

大族激光愿景:先進裝備的*。

激光打標機,激光焊接機,激光切割機,激光演示系列,PCB激光鉆孔機系列等多個系列200余種工業(yè)激光設備及其配套產品。
功能:可清洗晶圓表面的顆粒、有機物、金屬雜質、氧化物特點:1)相較于真空等離子
晶圓等離子清洗機(等離子灰化/去光刻膠/聚合物剝離/預處理/介電質刻蝕/晶圓凸點/有機污染去除/晶圓減?。?/span> 產品信息

功能:

可清洗晶圓表面的顆粒、有機物、金屬雜質、氧化物

特點:

1)相較于真空等離子,可以在常壓下工作

2)工作效率遠高于真空等離子

3)氬氣等離子輝光為低溫,不會破壞晶圓

序號 項目 規(guī)格參數(shù)
1 電源電壓 220(±10%)VAC,50/60Hz
2 電源需求 220VAC/10A以上,
3 工作頻率 13.65MHz
4 設備功率 <3.2KW(依實際為準)
5 氣源要求 根據(jù)產品選AR,N2,O2等氣體
6 壓縮空氣 ≥0.3MPa(3kg/cm2)
7 主機尺寸 1260(L)x600(W)x1980(H)mm
8 等離子頭尺寸 400(L)x80(W)x60(H)mm

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